4

1

Разраб.

МГОУ

605124

605124 ОК

Пров

Утв.

Кристал

Н. контр.

Наименование операции

Наименование, марка материала

МД

Контроль рельефа рисунка фоторезиста

Наименование оборудования

То

Тв

Обозначение иот

Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A

Р

Контролируемые параметры

Код средств ТО

Наименование средств ТО

Объем и ПК

То / Тв

01

Внешний вид изделия

Микроскоп Nikon Eclipse L200A

1. В процессе работы должна быть

02

(чистота пленки фоторезиста,

ТУ 3-3.1210– 75

отбракованна пластина в случае:

03

наличие проколов, геометрические

Пинцет ПС 160 30

- неполное удаление фоторезиста

04

размеры элементов рельефа)

ТУ 64 – 1 – 37 – 78

- наличие прополов и царапин на

05

рабочей поверхности фоторезиста

06

- изменение геометрических размеров

07

рельефа (сужения, уширения, разрывы)

08

2. При обнаружении брака разрешается:

09

- снять пластину с производства

10

направить на повторную обработку

11

направить в изолятор брака

12

13

14

ОК

Карта операционного контроля

5

1

МГОУ

605124

605124 ОКУ

В

Цех

УЧ.

РМ

Опер.

Код, наименование операции

Г

Обозначение документа

Д

Код, наименование оборудования

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции(перехода)

ТО

В 1

Совмещение и экспонирование

2

Г 3

605124 ОКУ

4

Д 5

EVG620 Установку совмещения и экспонирования OSTEC

6

Т 7

ТУ 64-1-37-78 Пинцет ПС 160 3.0

8

Т 9

ВТМ 4.189. 017 Тара для хранения пластин

10

М 11

ТУ 25-05-1771-75 Вакуум

12

М 13

ГОСТ 2874 – 82 Вода питьевая

14

М 15

ГОСТ 18300 – 87 Спирт этиловый ректификованный технический

16

М 17

ГОСТ 11680 – 76 Ткань хлопчатобумажная бязевой группы

18

Л 19

605124 Пластины с операции

20

21

22

23

24

25

26

27

28

Разраб.

Н. контр.

ОКУ

Операционная карта универсальная