2

МГОУ

605124

605124 ОКУ

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции (перехода)

То

Настоящая технологическая операция предназначена для оптической контактной литографии.

К работе на данной технологической операции допускаются лица, прошедшие аттестацию.

Перед началом работы наладчику проверить срок аттестации оборудования, сделать отметку в журнале, при нарушении требований аттестации доложить руководителю подразделения.

Технологические одежда и принадлежности (халат, тапочки и шапочка). Работающих на данной операции должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.4.103-83.

рабочее место содержать в соответствии с инструкцией.

Замерять запыленность ежедневно с записью в журнале. Запыленность не должна превышать 3, 5 пылинки размером более 0, 5 мкм на 1 литр воздуха. Если степень запыленности превышает норму, к работе не приступать, сообщить руководителю.

На данную технологическую операцию требования электронной гигиены составляют: класс чистоты на рабочем месте – 100, класс чистоты в общем объеме помещения – 1000, температура - 22 + 0, 5 0C, влажность – 40 + 5%.

Протирать рабочее место салфетками, смоченными водой, не реже 3 раза в смену: перед началом работы, после обеденного перерыва и в конце смены.

Протирать наконечники пинцетов салфетками, смоченными спиртом в начале работы и через 2-3 часа работы.

Получить у руководителя по спирт и салфетки. Спирт хранить в бюксе, салфетки в стакане.

Получить подложку в таре с предыдущей операции – 1я сушка фоторезиста.

Время межоперационного хранения подложек не должно превышать 2х часов.

При неисправностях оборудования остановить работу и сообщить руководителю подразделения

Включить установку совмещения и экспонирования OSTEC EVG620.

Включить подачу вакуума.

Проверить работу воздушной завесы

Загрузить подложку пинцетом в блок предварительного позиционирования установки.

Активировать функцию – подготовка к работе, загрузка

Визуально проконтролировать: предварительное позиционирование, транспортировку на манипулятор

- соответствует ли положение подложки на столике, нарисованному рядом эскизу

- устанавливает ли погрущик подложку в центр поворотного диска манипулятора

После установи закрыть крышку манипулятора.

Активировать функцию - автоматическая калибровка

При появление надписи колеровка выполнена приступать к совмещению

С помощью джойстика и монитора встроенного электронного микроскопа произвести совмещение:

- сначала грубое совмещение строк и столбцов,

- а затем точное совмещение по реперным знакам

В меню экспонирование выбрать соответствующую программу

- номер программы взять у руководителя подразделения

Активировать функцию – экспонирование

- Проконтролировать время по встроенному электронному секундомеру

- Проконтролировать освещенность по встроенному люксметру

- При снижение освещенности и появление соответствующей надписи на табло установки, остановить работу и сообщить руководителю подразделения о необходимости замены лампы осветителя.

При соблюдение параметров программы сделать отметку в журнале

Активировать функцию – разгрузка завершение работы

Забрать подложку пинцетом со столика, поместить в тару  

ОКУ

Операционная карта универсальная

3

МГОУ

605124

605124 ОКУ

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции (перехода)

То

Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.

Отправить подложку на следующую операцию проявление фоторезиста

По окончании работы:

- выключить установку;

- перекрыть подачу вакуума;

При работе на установке соблюдать требования по электробезопасности, установленные инструкцией по ТБ.

Не приступать к работе на установке без получения общего инструктажа по технике безопасности, который проводится руководителем подразделения не реже одного раза в квартал с отметкой в журнале.

Прекратить немедленно работу и сообщить руководителю подразделения, если при соприкосновении с установкой ощущается воздействие электрического тока.

Ремонт и наладку установки производить только наладчику.

Оператору запрещается вскрывать электрические блоки установки.

Уважаемый преподаватель курсовая скачена из интернета и студентом даже не прочитана  

ОКУ

Операционная карта универсальная