2.7.1.4 Выключить продувку азотом, перекрыть вентиль с маркировкой “N2”.

2.7.2 Выставить необходимый расход кислорода согласно табл. 2.

2.7.3 Открыть в вытяжном шкафу вентиль на баллоне с хлористым

водородом поворотом вентиля против часовой стрелки.

2.7.4 Подать хлористый водород в систему, повернуть вентиль

редуктора по часовой стрелке.

2.7.5 Проверить расход по ротаметру для подачи хлористого

водорода в реактор.

2.7.6 Перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом

поворотом вентиля по часовой стрелке, если расход

хлористого водорода выходит за допустимые пределы и

повторить переходы п.п. 7.1-7.1.4.

2.7.7 Если не устанавливается необходимый расход хлористого

водорода при повторном включении п.п. 7.3-7.5, закрыть

вентиль на баллоне, продуть систему азотом и сообщить об

этом технологу, мастеру или начальному участка.

Категорически запрещается во время работы с хлористым

водородом производить регулировку давления в линии с

хлористым водородом.

2.8 Менять кварцевые реакторы при отрицательных результатах по напряжению отсечки, не реже одного раза в квартал.

2.9 Проводить контрольный процесс, выполняя требования технологической инструкции согласно табл. 1, после смены баллона с хлористым водородом, после смены оснастки реактора и перед каждым процессом, если время между процессами превышает 24 часа.

2.10 Проводить процесс без использования экранных пластин.

2.11 Проводить оценку контрольного процесса по напряжению отсечки согласно вольт-емкостных характеристик по ТВО 336 568 ТК, 17.60303.00002.

В случае отклонения от нормы напряжения отсечки, указанный в таблице 2, продуть реактор, оснастку хлористым водородом, провести повторно контрольный процесс, а при отрицательных результатах сменить реактор, оснастку.

2.12 Фильтры для очистки хлористого водорода заменять ежемесячно с отметкой о сроке замены и росписью наладчика в журнале.

2.1.3 Технологический процесс.

3.1 Провести технологический процесс, выполняя переходы технологических инструкций согласно табл. 2, в соответствии с требованиями таблицы режима соответствующего процесса. Во время процесса следить за расходом хлористого водорода, кислорода.

3.2 По окончании технологического процесса:

1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.

2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.

3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.

3.3 Произвести измерения толщины окисла в соответствии с требованиями 17.25202.00004 в трех точках пластины-спутник. Толщина окисла должна соответствовать норме, заданной в таблице 2.

3.4 Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.

3.5 Годные пластины передать на следующую операцию.

2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро

2.2.1 Оборудование.

· установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212

· нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173

· кассета Æ07-0518

· тара межоперационная ЩИТ - 725

· пинцет Æ09-1114

· держатель Æ03-0767

· стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73

· нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73

· термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90

· пластина со структурами 17.10201.00024

· водорода перекись 17.10201.00022

· кислота серная 17.10201.00024

· вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02

· спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87

· перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88

· салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01

· салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).

2.2.2 Требования безопасности.

2.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

5) порезы.

2.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.

2.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.

2.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.

2.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.

2.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.

1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на

установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых

перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.

1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся

денной операции, наличие органических веществ и других

реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода

является сильным окислителем.

2.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.

2.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.

В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.

2.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

2.2.3 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

3.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.

3.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.

Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.

3.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.

Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.

3.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.

На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.

3.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.

3.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.

3.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4±1) л/мин на одну установку.

3.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.