С О Д Е Р Ж А Н И Е

1. Введение

2. Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10

2.1 Операция спецокисление

2.1.1 Оборудование

2.1.2 Подготовка рабочего места и организация

трудового процесса

2.1.3 Технологический процесс

2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро

2.2.1 Оборудование

2.2.2 Требования безопасности

2.2.3 Подготовка рабочего места и организация

трудового процесса

2.2.4 Технологический процесс

3. Контроль электрических параметров кристалла

3.1 Оборудование

3.2 Алгоритм программы разбраковки

Список используемой литературы 1. Введение

Микросхема 564ИЕ10

Микросхема содержит два отдельных четырехразрядных двоичных счетчика. Триггеры каждого из них устанавливаются в исходное состояние (нулевое) при подаче уровня 1 на вход R. Триггеры счетчиков 564ИЕ10 переключаются в момент спада импульсов положительной полярности на входе СР при уровне 0 на входе CN. Возможна подача импульсов отрицательной полярности на вход CN при уровне 1 на входе СР. Таким образом, входы CP и CN объединены логической функцией И. При соединении микросхем 564ИЕ10 в многоразрядный счетчик с последовательным переносом выводы 8 подключаются к входам СР следующих, а на входы CN подают уровень 0.

На счетчике 564ИЕ10 можно собрать делитель частоты с коэффициентом деления от 2 до 15.

Рис.1. Графическое изображение Рис. 2. Временная диаграмма

МС 564ЕИ10 работы счетчика 564ИЕ10

2. Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10

1. Формирование партии пластин.

2. Гидромеханическая отмывка пластин.

3. Химическая обработка.

Смесь Каро (H2SO4+H2O2), перикисьно-амиачная смесь.

Оборудование — линия “Лада 125”.

4. Окисление 1.

Установки СДОМ, АДС. Температура 1000ОС. О2+пар.

5. Фотолитография. Формирование области р-кармана.

5.1. Нанесение фоторезиста.

Фоторезист — ФП383. Установка ХБС.

5.2. Совмещение экспонирования пластин ЭМ — 576А.

5.3. Проявление фоторезиста.

Проявитель — едкий калий.

5.4. Дубление фоторезиста.

Установки “Лада”.

5.5. Травление окисной пленки.

Буферный травитель.

5.6. Контроль.

6. Ионное легирование. Бор 1.

“Карман”. Установка “Лада 30”.

7. Снятие фоторезиста.

7.1. Плазма. Установка “08 ПХО 100Т-001”

7.2. Смесь Каро.

8. Химическая обработка.

9. Разгонка бора. “Карман”.

Температура 1200ОС. О2+азот.

10. Вторая фотолитография.

Формирование областей сток- исток р-канальных

транзисторов и р+-охраны.

11. Ионное легирование. Бор 2 .

Сток- исток. Установка “Везувий-3М”.

12. Снятие фоторезиста.

Плазма и смесь Каро.

13. Химическая обработка.

14. Разгонка бора. Сток- исток.

Температура 1000ОС, О2+пар.

15. Третья фотолитография.

Формирование областей сток- истока n-канальных

транзисторов и n+-охраны.

16. Химическая обработка.

17. Загонка фосфора (диффузионный метод).

Температура 900ОС. Диффузант — POCl3.

18. Снятие фосфорселикатного стекла.

HF : H2O =1 :10.

19. Разгонка фосфора.

Температура 1000ОС. О2+пар.

20. 4Я фотолитография.

Вскрытие областей под затвор и контактные окна.

21. Окисление 2 — подзатворный диэлектрик.

Температура 1000ОС. О2+HCl.

22. Стабилизация фосфора.

Температура 900ОС. Диффузант — POCl3.

23. Подлегирование.

24. Отжиг подзатворного диэлектрика.

25. 5Я фотолитография.

Вскрытие контактных окон.

26. Химическая обработка.

27. Напыление Al+Si.

Установка “Магна 2М”.

28. 6Я фотолитография.

Формирование алюминиевой разводки.

29. Вжигание алюминия.

Температура 475ОС в азоте.

30. Нанесение защитного окисла.

Температура 400ОС. SiH4+O2.

Установка “Аксин”.

31. 7Я фотолитография.

Вскрытие контактных площадок.

32. 8Я фотолитография.

Защита пластин фоторезистом.

33. Контроль ВАХ (пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др.).

34. Контроль электрических параметров.

35. Контроль внешнего вида.

2.1 Операция спецокисление

2.1.1 Оборудование.

· система диффузионная (см табл. 1)

· стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ

· реактор кварцевый Æ07-0397

· реактор кварцевый Æ07-0541

· крючок кварцевый Æ09-1067

· лодочка кварцевая Æ09-1216

· подставка Æ09-1215

· стаканчик СВ24/70 ГОСТ 25 336-82

· пинцет ПС 160х3.0 ТУ 64-1-37-78

· пинцет Æ09-1114

· часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-1503-82

· пластина кремния 7590592 10300 00022

· пластина кремния спутник 7590592 10300 00022

· водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90

· спирт этиловый ректификованный технический марки “Экстра” ГОСТ 18300-87

· кислород СТП ТВО 054 003-89

· азот СТП ТВО 054 003-89

· напальчники типа II вида Б№4 ТУ 38.106567-88

· салфетка из мадаполама (350х253) мм 7590592 10301 00043

· салфетка из батиста (150х150) мм 7590592 10301 00045

· пленка полиэтиленовая марки На, полотно, 0,040х1400, I сорт ГОСТ 10354-82

2.1.2 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Подготовку рабочего места и организацию трудового процесса проводить в соответствии с требованиями табл. 1.

2.2 Технологическую операцию осуществлять с соблюдением требований ТВО 045 954 ИОТ, 17.25351.00003 ИОТ, ТВО 045 829 ИОТ, ТВО 045 982 ИОТ.

2.3 Соблюдать требования производственной гигиены по СТП 17-001-90.

2.4 Параметры микроклимата должны соответствовать СТП 17-001-90: (1000,10000; 22±2; 50±10).

2.5 Время межоперационного хранения пластин должно соответствовать требованиям СТП 17-097-88.

2.6 Проверить наличие вытяжной вентиляции на системе диффузионной, в специальном шкафу для хранения баллона перед началом работы с хлористым водородом. Производить работу с хлористым водородом при выключенной вентиляции запрещается. При отключении вентиляции немедленно закрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом.

2.7 Продуть кварцевый реактор, оснастку хлористым водородом с расходом(10-15) л/час не менее 30 минут:

1) вначале первой смены;

2) после смены оснастки, трубы;

3) замены баллона с хлористым водородом;

4) если время между процессами превышает 24 часа, с последующей продувкой азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.

2.7.1 Перед включением хлористого водорода продуть линию

подачи магистральным азотом не менее 10 минут с расходом

согласно таблице 2.

2.7.1.1 Включить подачу азота, регулируя расход натекателем на ротаметре.

2.7.1.2 Открыть вентиль подачи азота на линию хлористого водорода (вентиль с маркировкой “N2”).

2.7.1.3 Открыть вентиль с маркировкой, установить расход (10-15) л/час натекателем на ротаметре. Регулировать давление в магистрали при необходимости редуктором низкого давления .