При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.

3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.

3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.

3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.

После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (200±50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.

3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.

3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.

3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.

3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.

3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом·см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.

3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин.

3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.

3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.

3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.

Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.

3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.

3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.

3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.

3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.

КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА

Оборудование

· система измерительная Н2001 (“Интеграл”);

· зонд измерительный ОМ6010;

Алгоритм программы разбраковки

Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.

Рис.3.

Табл. 3.

Табл. 4. Нормы параметров 564 ИЕ10