Рис. 10. Манганиновый манометр

Диапазон давлений, изме­ряемых манганиновыми мано­метрами, составляет от 100 МПа (1000 кгс/см2) до 4 ГПа (40000 кгс/см2), погреш­ность измерений от 0,4 до 2,5 % (рабочие средства изме­рений) и от 0,2 до 0,6 % (об­разцовые средства измере­ний). Долговременная ста­бильность (5-10 лет) и вос­производимость показаний хорошо изготовленных манга­ниновых манометров состав­ляют ±0,2 % каждая. Влияние температуры определяется из­менением электросопротивле­ния, которое в среднем со­ставляет 0,01 % на 1°С.

Манометры сопротивле­ния практически не примени­мы при давлениях менее 50 МПа из-за относительно низ­кого тензоэффекта при все­стороннем сжатии проводни­ка. Поэтому при изме­рении малых и средних давлений производится предварительное преоб­разование давления в деформацию УЧЭ, которая создает в материале тен­зорезистора требуемые растягивающие или сжимающие усилия. При этом уменьшение давления компенсируется увеличением геометричес­ких размеров УЧЭ и уменьшением толщины его стенок.

На этом принципе основано подавляющее большинство проволоч­ных тензорезистивных манометров. Находят применение как наклеи­ваемые на поверхность УЧЭ проволочные тензорезисторы, так и „сво­бодные" тензорезистивные преобразователи, в которых деформации подвергаются ненаклеенные проволочные нити.

Общий недостаток конструкций с наклеиваемыми проволочными тензорезисторами — нестабильность закрепления последних на деформи­руемой поверхности, особенно при воздействии повышенных темпера­тур. С этой точки зрения предпочтительнее „свободные" тензорезистивные преобразователи, которые почти полностью совмещают функции упругого элемента и тензорезистора, обеспечивая высокую собственную частоту и хорошую стабильность нуля, так как жесткость других упру­гих элементов (мембраны, сильфона и пр.) в этом случае выбирается су­щественно меньшей.

Одним из существенных недостатков проволочных тензорезисторов является небольшая теплоотдача материала проволоки, так как площадь теплоотдачи составляет половину цилиндрической поверхности проволо­ки. Поэтому возможности миниатюризации ограничиваются допускае­мым уменьшением диаметра проволоки, который обычно составляет не менее 20-30 мкм. Гораздо большие возможности предоставляет техника изготовления тензорезисторов из металлической фольги, которая к нас­тоящему времени достаточно хорошо испытана и отработана. Типичная конструкция фольгового тензорезистора (рис. 11, а) состоит из тонкой металлической фольги 1, выполненной в виде петлеобразной решетки, которая специальным клеем закреплена на подложке 2 из

изоляционно­го материала.

Рис. 11. Фольговый тензорезистор

К расширенным концам решетки припаиваются проволочные токосъемники 3, а сверху на решетку наносится изоляционное по­крытие 4 для защиты от воздействия окружающей среды. Сопротивле­ние резистора определяется базой l, числом последовательно соединен­ных полосок фольги и их поперечным сечением. В качестве материала фольги обычно применяют константан, подложки — бакелитовую или эпоксидную смолу. Для изготовления фольговых тензорезисторов и их закрепления на поверхности УЧЭ используются в зависимости от усло­вий работы (температуры, влажности, агрессивности среды) различные клеящие составы, затвердевающие в горячем состоянии.

Тензорезисторы закрепляются непосредственно на поверхности УЧЭ или на упругую балочку, связанную с УЧЭ жестким стержнем, и включа­ются в мостовую схему. Манометры, основанные на указанном принци­пе, позволяют измерять давление с высокой точностью. Так, цифровой манометр „Diptron 2" фирмы „Wallance & Tiernan" (ФРГ) предназначен для измерения давления с погрешностью 0,05 %. Манометр (рис. 11, б) содержит сильфон 1, преобразующий измеряемое давление р в усилие, которое с помощью стержня 2 изгибает упругую балку 4. Пропорцио­нальная давлению деформация воспринимается тензорезисторами 3, включенными в мостовую схему, причем два резистора работают на рас­тяжение, а два других — на сжатие. Усилителем 1 (рис. 11, в) выходной сигнал усиливается и после преобразований поступает на цифровое табло указателя 2. Одновременно происходит преобразование в аналоговый и кодовый выходные сигналы.

Несмотря на ряд очевидных достоинств (высокая точность, хорошая долговременная стабильность, высокая собственная частота, примени­мость для изготовления небольших серий) фольговые тензорезисторы имеют также и недостатки: относительную дороговизну, в связи с жест­кими допусками на изготовление; невысокую тензочувствительность, свойственную всем металлическим тензорезисторам (k ≈ 2), что требует соответствующего усиления; ограниченные диапазон температур и воз­можности миниатюризации.

Тонкопленочные тензорезисторы. Дальнейшие возможности разви­тия тензорезистивных манометров предоставила тонкопленочная техника, получившая в последнее время распространение в различных облас­тях микроэлектроники, в которой, в отличие от фольговой техники, пе­ред нанесением на подложку проводящего материала тензорезисторов на поверхность УЧЭ наносится изоляционный слой, толщиной в несколько мкм, затем низкоомные проводники монтажной схемы и, в последнюю очередь, сам тензорезистор. При этом применяются методы напыления в вакууме, плазменной активации паров требуемых химических веществ и пр., которые позволяют наносить не только металлические пленки, но и поликристаллические материалы с повышенным коэффициентом тензочувствительности (k=30-50). Все это позволяет существенно уменьшить размеры УЧЭ при одновременном уменьшении диапазона измерений. Однако сложность технологии изготовления требует значи­тельных затрат на оборудование. Поэтому изготовление тонкопленоч­ных тензорезисторов рентабельно только при условии их массового про­изводства

В отличие от металлических тензорезисторов, сопротивление кото­рых изменяется вследствие деформации поперечного сечения, в полупро­водниковых тензорезисторах чувствительным к натяжению является удельное сопротивление, которое занимает очень широкий диапазон зна­чений. Если удельное сопротивление проводников находится в диапазонах от 10-5 до 10-8 Ом.м, а диэлектриков от 1010 до 1010 Ом.м., то диапазон удельных сопротивлений полупроводников простирается от 10-5 до 104, т. е. охватывает почти 10 порядков. Помимо этого сопротивле­ние полупроводников существенно зависит от содержания в них примесей, подбором которых можно изменять сопротивление в нужном на правлении. Примеси, которые создают в полупроводнике свободные электроны, называют донорными, а сам полупроводник называют n-типа (от „негатив” — отрицательный). Примеси, которые захватывают валент­ный электрон и при этом у одного из атомов полупроводника возникает „дырка”, называют акцепторными (принимающим), а проводимость про водника р-типа (от „позитив” — положительный). Количество свободных носителей зарядов (электронов и дырок) определяет проводимость, а, следовательно, и удельное сопротивление полупроводника. При этом чувствительность удельного сопротивления полупроводникового тензорезистора к его деформации существенно выше, чем изменение сопро­тивления под влиянием изменения поперечного сечения.