19. Тернов И. М., Михайлин В. В., Халилов В. Р. Синхронное излу- чение и его применение. - М.: Изд-во МГУ, 1980.- 276 с.

20. Уорд Р. Электронно-лучевая проекционная установка для созда- ния кристаллов СБИС с субмикронными элементами. - Электро- ника, 1981, т. 54, № 22, с. 52-60.